Struktur og funktionsprincip for diffus silicium tryktransmitter

Struktursammensætning af diffust silicium tryktransmitter

Siden output fra trykfølerenUPX19er et ikke-standardsignal, i praktiske anvendelser, for at gøre sensoren universal og lette signaloverførsel og -optagelse, bruges sensoren sammen med et standardsignalindgangskredsløb til at udsende et standardsignal. Sensoren, der udsender standardsignalet på dette tidspunkt, kaldes tryktransmitterenUPB13.

Kort sagt udvikles transmitteren gradvist fra sensoren. Den diffuse silicium-tryktransmitter, der studeres i dette papir, er hovedsageligt sammensat af MEMS-sensor, målekapsel, interface og behandlingskredsløb (smart printkort).

Tryksensoren og diodetemperaturføleren er pakket på toppen af ​​målekapslen, og kapsellegemet er fastspændt af to tætningsflanger for at danne måledelen af ​​transmitteren, som er ansvarlig for at konvertere det tryksignal, der skal måles ved arbejdsstedet til et spændingssignal. Derudover udgør et elektronisk kredsløb, en skærmhoved for flydende krystaller og en forbindelsesterminal skærmdelen, som er ansvarlig for at konvertere spændingssignalets output fra sensoren til 4-20mA gennem forstærkning og derefter udsende et standardstrømsignal.

Arbejdsprincip for diffus silicium tryktransmitter

Baseret på den piezoresistive virkning af monokrystallinsk silicium fremstilles en elastisk komponent i en bestemt retning på siliciumskiven med avanceret mikroelektromekanisk behandlingsteknologi, og fire kraftfølsomme modstande med lige modstand er fremstillet af integreret kredsløbsteknologi i den korrekte position, der forbinder til en Wheatstone-bro. Der tilføres en konstant spænding (strøm) til broen, og det målte tryk overføres til siliciumchippen gennem den siliconeolie, der er forseglet i målekapslen uden tab, hvorefter transmitteren udsender et spændingssignal lineært proportionalt med det tryk, der skal måles, og derefter forstærkes spændingssignalet og konverteres til et to-leder standardsignal gennem elektroniske kredsløb.

For at opsummere:

Det kan kendes ud fra dets funktionsprincip, at trykføleren er en vigtig del af tryktransmitterenUPB1, og den vigtigste kilde til temperaturdrift fra transmitteren er siliciumtryksensorens temperaturdrift. Den nuværende forskning om temperaturdrivkompensation af siliciumtryktransmittere er også primært fokuseret på siliciumtryksensorernes del.

For yderligere oplysninger, kontakt venligstQi Huang